반도체 수요 반등에 LPCVD·ALD 등 핵심 장비 수요 증가세 전망
삼성·SK·마이크론 등 글로벌 회사들과 공급 계약 다변화 전략도
유진테크는 2000년에 설립된 반도체 장비 제조회사로 지난 2006년 코스닥 시장에 상장했다. 12일 유진테크 반기보고서 등에 따르면 이 회사는 전공정의 웨이퍼 처리공정 중 박막형성재료를 화학반응에 의해 반도체기판(wafer)위에 박막을 형성하는 장비를 제공하고 있다.
반도체장비 사업부문 주력제품으로는 반응가스간의 화학적반응으로 형성된 입자를 웨이퍼 표면에 증착해 절연막이나 전도성 박막을 형성하는 장비인 저압화학기상증착장치 LPCVD(Low Pressure Chemical Vapor Deposition)와 플라즈마(Plasma) ALD(Atomic Layer Deposition) 전구체 등이다.