5년간 매출성장과 함께 영업이익률 50% 육박...동탄 신공장에 생산능력도↑
예스티 고압수소어닐링 장비 개발에 1위 위상 흔들은 기우...기술해자 지속
HPSP는 고유전율(High-K) 절연막을 사용하는 트랜지스터의 계면특성을 개선하는 고압 수소 어닐링 장비에 특화된 기업이다. HPSP의 고압수소 수소 어닐링 장비는 반도체 소자 계면상의 문제점을 개선을 위한 반도체 전공정 장비다.
반도체의 트랜지스터 막을 형성하는 High-K소재(HfO2, 하프늄옥사이드)는 28나노미터(이하 "㎚") 이하 공정에서 발생하는 터널링 현상으로 인한 누설전류를 막기위해 도입된다.